阪大複合機能ナノファウンダリ Handai Multi-Functional Nanofoundry
研究室サイト
概要
先端的な研究施設・機器の共用を進め、産業イノベーションにつながる成果を創出するために、2007年4月から文部科学省の「先端研究施設共用イノベーション創出事業」がスタートした。大阪大学の産業科学研究所と超高圧電子顕微鏡センターは、（１）分子・物質合成、（２）超微細加工、（３）ナノ計測・分析の３つの領域・機能を協力して連携させ「阪大複合機能ナノファウンダリ」を組織し、ナノスケールプロセスやナノ構造・機能の解析に必要な施設・装置・技術による総合的な支援を行う。阪大ナノファウンダリでは、２組織が有する金属・酸化物・有機物・バイオなど多種多様な材料に関する豊富な経験に基づく高度なナノテクノロジーを結集し、材料の多様性や研究分野の複合性・融合性等の研究を支援することにより、新しいナノ材料やナノデバイス等の創出に貢献する。地域の企業や研究機関との有機的な連携を深めることにより、蓄積してきたものを単に発揮させるファシリティとしての機能だけでなく、技術センター的な役割として人材育成の核となるような拠点を目指す。（１）イノベーション創生の中核となる革新的技術材料（２）デバイスの性能限界を突破する先端的エレクトロニクス（３）超早期診断と低浸襲治療の実現と一体化を目指す先端的ナノバイオ・医療技術（４）イノベーション創出拠点におけるナノテクノロジー実用化の先導革新研究開発（５）ナノ領域先端計測・加工技術の５つを本支援事業のターゲットとする。
【支援内容】
- レーザーMBE装置等の各種蒸着装置を用いた分子・物質合成（産研）
- EB露光装置、集束イオンビーム装置等を用いた超微細加工（産研）
- 超高圧電子顕微鏡等を用いたナノ計測・分析（電顕センター）
