ソーラーシミュレータ
全反射蛍光X線分析装置
（TXRF）
フーリエ変換赤外分光光度計
(FT-IR)
紫外可視近赤外分光光度計
（UV-VIS-NIR）
※ 積分球ユニット付き
分光蛍光光度計
（PL）
分光エリプソメータ
原子間力顕微鏡
(AFM)
ガス吸着量測定装置
（BET）
粒径・ゼータ電位測定装置
（DLS, ELS）
ライフタイム測定装置
（μw-PCD）
ライフタイム測定装置
（QSSPC）
分光感度・量子効率測定装置
（A/W, EQE, IPCE）
電気特性測定装置
(I-V, C-V, G-V)
スクリーン印刷機
触針式段差計
抵抗加熱蒸着装置
EB蒸着装置
拡散用チューブ炉
赤外線ランプアニール装置
（RTA）
100%水素処理用チューブ炉
マスクアライナー（露光機）
超純水製造システム
この他にも、産業科学研究所付属の総合解析センターの機器も使用しています。
（NMR, MS, FE-SEM, TEM, EPMA, SIMS, XRD, ICP-OESなど）
大阪大学産業科学研究所総合解析センター