ナノ加工室
ナノ加工室のページにようこそ。 (日本語/English)
ナノ加工室はマイクロ・ナノ加工を行うワークショップです。
産研のすべての方が無料で利用できます。
下の写真はこれまで作製した加工品の一部を紹介したものです。
マウスのカーソルを合わせると、詳しい紹介が現れます。 (アドオンを許可しておいて下さい。)
アルミ製のチョッパーです。フォトリソでパターンを作り、酸によるエッチングで穴をあけています。
24x32mmのガラス上に作製した銀ミラーです。高解像度をもつ暗視野顕微鏡に使われました
( Biophys. J. (2010), 98, 2014-2023 )。
シリコンウェハーから作った薄膜構造です。
網の間に200nm以下の厚さのシリコン薄膜が存在します。
フォトリソと反応性イオンエッチングで作製しました。
チタン電極とその間に設けたアルミの島です。
交流電界をDNAにかけるのに使われました
( Lab on a Chip, 2007, 7, 1738-1745 )。
マイクロ流路です。
鋳型を用いて成型されたPDMSとカバーガラスを、
酸素プラズマによる表面処理により共有結合させて作られています。
薬剤排出ポンプの阻害剤の評価に用いられました
( PLoS ONE, 2011, 6, e18547 )。
直径 20μm の円形パターン上に作られた液滴のアレイです。
フォトリソと反応性イオンエッチングで作られた親水・疎水パターンを利用して、
直接アクセスすることができる水滴アレイを作ることができました
( Lab on a Chip, 2010, 10, 3355-3362 )。
シリコンのとがった構造をもつグレーティング構造です。
反応性イオンエッチングの際のガス圧力を調節することにより作製しました。
シリコンのトレンチです。
電子線リソグラフィーと反応性イオンエッチングで作製しました。
金の島構造です。電子線リソグラフィーとリフトオフプロセスにより作製しました。
興味を持たれた方は気軽に連絡ください。
部屋番号 : S314 (第二研究棟三階)
内線 : 8433
E-mail : 榊原; shouichi@sanken