大阪大学 産業科学研究所

contact
home
english
HOME > 研究紹介 > 第2研究部門(材料・ビーム科学系) > 量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)

量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)

Department of Beam Materials Science

スタッフ

  • Photo
    教授 古澤 孝弘
    Prof.
    T. KOZAWA
  • Photo
    准教授 室屋 裕佐
    Assoc. Prof.
    Y.MUROYA
  • Photo
    助教 小林 一雄
    Assis. Prof.
    K. KOBAYASHI
  • Photo
    助教 山本 洋揮
    Assis. Prof.
    H. YAMAMOTO

研究内容

半導体製造における極端紫外光リソグラフィ、粒子線ガン治療等、今後電離放射線領域にある量子ビームの利用が大きく展開していくことが予想される。量子ビーム物質科学研究分野では最先端の量子ビーム(電子線、極端紫外光、レーザー、放射光、X線、ガンマ線、イオンビーム)を利用して、量子ビームが物質に引き起こす化学反応と反応場の研究を行っている。量子ビームによる物質へのエネルギー付与から、化学反応を経て、機能発見に至るまでの化学反応システムの解明、得られた知見から新規化学反応システムの構築を行っている。また、高温高圧状態や超臨界状態といった極限状態下にある液体の放射線誘起反応過程の解明も行っている。

研究課題

  1. 1.半導体大量生産におけるナノ化学への挑戦
  2. 2.極端紫外光領域の放射線化学
  3. 3.次世代レジスト設計-凝縮層中での電子、ホール、エネルギー移動の研究
  4. 4.電子線過渡分光による有機材料、生体における量子ビーム誘起反応の解明
  5. 5.遺伝子損傷の初期過程の研究
  6. 6.量子ビームによるナノ材料研究
  7. 7.高温・超臨界溶媒の放射線化学研究

図・グラフ

紹介ビデオ

大阪大学 産業科学研究所

contact home english
HOME > 研究紹介 > 第2研究部門(材料・ビーム科学系) > 量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)

量子ビーム物質科学研究分野(古澤研)

Department of Beam Materials Science

スタッフ

  • Photo
    教授 古澤 孝弘
    Prof.
    T. KOZAWA
  • Photo
    准教授 室屋 裕佐
    Assoc. Prof.
    Y.MUROYA
  • Photo
    助教 小林 一雄
    Assis. Prof.
    K. KOBAYASHI
  • Photo
    助教 山本 洋揮
    Assis. Prof.
    H. YAMAMOTO

研究内容

半導体製造における極端紫外光リソグラフィ、粒子線ガン治療等、今後電離放射線領域にある量子ビームの利用が大きく展開していくことが予想される。量子ビーム物質科学研究分野では最先端の量子ビーム(電子線、極端紫外光、レーザー、放射光、X線、ガンマ線、イオンビーム)を利用して、量子ビームが物質に引き起こす化学反応と反応場の研究を行っている。量子ビームによる物質へのエネルギー付与から、化学反応を経て、機能発見に至るまでの化学反応システムの解明、得られた知見から新規化学反応システムの構築を行っている。また、高温高圧状態や超臨界状態といった極限状態下にある液体の放射線誘起反応過程の解明も行っている。

研究課題

  1. 1.半導体大量生産におけるナノ化学への挑戦
  2. 2.極端紫外光領域の放射線化学
  3. 3.次世代レジスト設計-凝縮層中での電子、ホール、エネルギー移動の研究
  4. 4.電子線過渡分光による有機材料、生体における量子ビーム誘起反応の解明
  5. 5.遺伝子損傷の初期過程の研究
  6. 6.量子ビームによるナノ材料研究
  7. 7.高温・超臨界溶媒の放射線化学研究

図・グラフ

紹介ビデオ