カーボンナノチューブ成長装置

上の写真は主にカーボンナノチューブ電界効果トランジスタを作製する時に使用する熱CVD装置です。
下の二つの装置はカーボンナノチューブ電極を作製するときに使用する熱CVD装置とプラズマCVD装置です。