大阪大学 産業科学研究所

ISIR OSAKA UNIVERSITY

産業科学ナノテクノロジーセンター

Advanced Nanotechnology Instrument Laboratory
ナノテク先端機器室

スタッフ

【室長】田中 秀和
  • 教授(兼)
    【室長】田中 秀和
  • Director Prof.
    H. TANAKA

研究内容

ナノテク先端機器室は、ナノテクノロジーに特化した最先端機器を設置し、ナノテクノロジー研究を戦略的に発展させるために、ナノテクノロジーセンターの改組拡充に伴い2009年度に発足した。電子線露光装置を用いた超微細加工システム、ナノデバイス加工装置群、ナノデバイス構造評価装置群、ナノデバイス機能評価装置群からなるナノデバイス超精密加工・物性評価システムが設置され、無機物、金属酸化物、有機物、生体関連物質等の多様な材料のナノ構造形成および構造・機能・電子特性等の高精度解析および評価が可能となる。これら先端装置群により連携したナノテクノロジー研究の発展的推進を可能とし、さらにその成果を普及させることを目指している。

図・グラフ