大阪大学 産業科学研究所

ISIR OSAKA UNIVERSITY

産業科学ナノテクノロジーセンター

Department of Nanotechnology for Environmental and Energy Applications
環境・エネルギーナノ応用分野

研究内容

本研究分野では産業科学ナノテクノロジーセンターが有するナノ加工のための設備と技術を利用して、環境・エネルギー問題を解決するために、低消費電力デバイス製造のためのプロセス・材料技術の開発を行っている。

研究課題

  • 1.微細加工材料
    2.リソグラフィプロセス