大阪大学 産業科学研究所

ISIR OSAKA UNIVERSITY

産業科学ナノテクノロジーセンター

Nanofabrication Shop
ナノ加工室

スタッフ

【室長】田中 秀和
  • 教授(兼)
    【室長】田中 秀和
  • Director Prof.
    H. TANAKA

研究内容

ナノ加工室は、産研の有する各種ナノ加工装置およびナノ加工技術を相互に有効活用し、各分野の研究の推進を図ることを目的としている。微細加工の技術代行のほか、微細加工の応用に関心を持つ研究者にデバイスの開発・提供を行っている。

図・グラフ

シリコン微細円柱構造
  • シリコン微細円柱構造
  • Silicon micro columns