無冷媒希釈冷凍機 (温度10mK)
光ファイバー接続無冷媒希釈冷凍機(温度<7mK)
光学窓付き無冷媒希釈冷凍機 (温度10mK)
ヘリウム3冷凍機
もつれ光子対発生源
真空蒸着装置1
真空蒸着装置2
真空蒸着装置3
電子線描画装置
プラズマ原子層体積装置
スパッター
エリプソメーター
ワイヤーボンダー
ドラフトチャンバー
量子情報実験室
数値計算機
学生居室
光学窓付きクライオスタット (温度1.5K)
希釈冷凍機
Ti:サファイアレーザー+パルスピッカー