装置紹介　- EM -

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透過型電子顕微鏡 TEM

超高分解能分析電子顕微鏡（TEM.,JEM-ARM 200F）は照射系に球面収差補正装置を装備し透過(TEM)と走査透過(STEM) の両機能を持った電子顕微鏡です。本装置はショットキー放出を利用した電子銃で、陰極にZrO/Wエミッタ が使われ、熱電子銃と比べると輝度が高くて電子源が小さく、１８００Kの高温度に加熱されているため、電界放出電子銃よりも電流安定度が高く、大きなプローブ電流が得られます。また電子銃部の真空は動作圧力が２桁ほど高くても使えるなどメンテナンスが容易であり、高分解能観察と分析機能を両立させて有効に使うことができます。 附属の球面収差補正装置（Csコレクター）は負の球面収差係数を作り出して磁界軸が対称のコンデンサーレンズの正の球面収差係数を打ち消すように働き、この機能により、より小さく高強度のプローブ が得られより高分解能の元素分析等ができます。STEM像は薄膜試料を透過してきた電子を検出して得られたもので、散乱吸収コントラスト、回折コントラスト、位相コントラストなどが得られます。

集束イオンビーム装置　FIB

集束イオンビーム装置（FIB）は数十nmの径のGaイオンビームを試料に照射し、任意の形状に加工する装置です。二次イオン像を得ることで拡大像を観察しながら掘削することができ、特定部位の断面観察のための試料作製装置として役立ちます。特に、透過型電子顕微鏡観察のために試料を薄片化する場合、着目した部分だけを正確に加工できるという利点があります。また、マイクロサンプリングシステムを搭載しており、極小プローブを用いてバルク試料から数µmの試料片を摘出し、TEMのグリッド等に接着することが可能です。

生物系透過型電子顕微鏡 3D-TEM

LaB6電子銃搭載型200kV透過型電子顕微鏡（JEM-2100）は、高分解能観察とハイコントラストを両立しており、生物系試料の観察に適しています。TEM像はCCDカメラでデジタルデータとして撮り込めます。高傾斜ホルダを用いて試料を最大±80°傾斜させることができ、TEMトモグラフィシステムにより自動で連続傾斜像を取得することができます。PCにより試料の3D再構成、3D構造の可視化が行えます。

電界放射分析走査電子顕微鏡 FE-SEM+EDS

JEOL社製の走査型電子顕微鏡（SEM）、JSM-F100は電子線の加速電圧は10Vから30kVまで設定することができ、熱ダメージに弱い試料や絶縁物の試料にも対処することが可能です。また通常より低い真空度で観察を行うオプションも搭載されています。加えて、電子線の高輝度化に加えEDSの検出阻止の面積が増加したことで、元素分析の性能が大幅に向上しました。このJSM-F100は二次電子像による視野探しと並行して視野内の元素を自動表示し、簡単な操作で観察と分析を切り替えながらデータを取得できるため、効率よく試料表面の解析を行うことができます。

X線マイクロアナライザー EPMA

EPMA(Electron Probe Micro-Analyser）はLaB6電子銃により発生した電子線を数十nmに細く絞り最大40ｋVまで加速し固体試料表面に照射します。発生する特性Ｘ線の波長により試料を構成している元素を同定し定量分析まで行えます。元素分布状態を知ることの出来るマッピング測定、線分析も可能となっております。測定元素範囲はＢ ～ Ｕ までで８分光結晶、４検出器が装備されています。本装置の特徴の一つとしてカソード・ルミネッセンスも測定が行えます。金属・鉱物・セラミックスをはじめ半導体材料の評価に威力を発揮します。

X線光電子分光装置・紫外光電子分光装置 XPS・UPS

X線光電子分光分析装置（XPS）は試料の表面分析装置の一つで、金属、半導体、有機物、セラミックスなど幅広い物質を対象としています。ほとんどの元素の測定が可能で化学状態などを分析できます。試料表面から深さが６nm、分析面積が数十mmと幅広い範囲で測定が可能です。またイオンエッチングによる深さ方向の分析も可能となっています。また本装置にはXPSの他にも紫外光電分光分析装置（UPS）もついており、電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面の価電子状態の知見を得ることが可能です。高エネルギー分解能のため各種金属材料の仕事関数評価にも用いられます。

飛行時間型二次イオン質量分析計 TOF-SIMS

TOF-SIMSは元素・分子を高感度に同時取得できる表面分析装置です。IONTOF社のM6は情報深さが1-2 nmと非常に浅く、固体試料の表面や薄膜、界面の詳細情報を得ることができるため、幅広い産業分野、研究用途に利用されています。また、深さ方向の分析にスパッタガンを用いることにより、高精度なデプスプロファイルの取得が可能です。そのアプリケーションは、半導体、高分子材料、塗料、被膜、ガラス、製紙、金属、セラミック、生体材料、薬品など、幅広い分野にわたっています。