研究内容

 ナノ構造とその機能の評価には電子顕微鏡法は必須の手法です。特に、電子顕微鏡を利用したナノ構造・ナノデバイスの生成プロセスの評価、及び機能発現中(動作中)のナノ構造・ナノデバイスの評価は、今後極めて重要になります。当研究分野では、気体中のナノ構造・ナノデバイスを原子スケールで観察できる高分解能の環境制御型透過電子顕微鏡(ETEM)を開発してきました。このETEMを利用して、各種気体と固体の界面で生じる動的な現象を、原子・電子構造的に解析することで、新規なナノ構造・ナノデバイスの生成プロセスや機能の開発に貢献しています。また、自分たちで新規なナノ構造を創成し、その構造・特性を主に電子顕微鏡で調べています。加えて、半導体産業や原子力産業に必要な照射環境下での材料挙動を明らかにするため、先端的な各種電子顕微鏡法により各種材料の照射誘起構造変化を調べるとともに、得られた知見を基に新規機能性材料の創成を試みています。

環境制御型・高分解能透過電子顕微鏡によるナノ構造・ナノデバイスの評価

様々なナノ構造の創成と評価