ナノ極限ファブリケーション研究分野

Department of Advanced Nanofabrication

本研究分野では、極限ナノファブリケーションを実現するために、量子ビームが材料中に誘起する物理化学過程の解明を目指している。解明のためのツールとして、世界最高時間分解能を有するフェムト秒・アト秒パルスラジオリシスシステムを開発している。フェムト秒・アト秒の時間分解能を実現するために、フェムト秒・アト秒電子線パルスの発生方法、および、計測方法の研究・開発を行っている。また、これらアト秒高密度電子線パルスが誘起する新奇現象を探索している。また、超短パルス電子ビーム発生技術を応用することにより、放射線化学、加速器科学、電子顕微鏡学の学際領域で新しい展開を目指している。

Our research target is fundamental physicochemical processes induced by electron beam irradiation to materials for the sake of realizing an advanced nanofabrication. To reveal the foundation of the processes, a femto/atto-second pulse radiolysis measurement system and technique has been developing including generation and measurement methods of attosecond electron beam. In addition to the time-resolved spectroscopy, time-resolved electron diffraction and electron microscopic method and apparatus have been developed and studied. Utilizing our ultra-short electron beam, we are exploring novel interaction of the high-density electron beam and materials. Our research is lying to interdisciplinary fields of radiation chemistry, accelerator science and electron microscopy.

研究内容

Research topics

1

極限ナノファブリケーションの基礎過程に関する研究
Study of basic process of an advanced nanofabrication

2

フェムト秒・アト秒パルスラジオリシスシステムの開発
Development of femto/atto-second pulse radiolysis technique

3

フェムト秒・アト秒電子パルスの発生方法と計測方法の研究・開発
Study of femto/atto-second electron beam generation and characterization

4

フェムト秒時間分解MeV電子顕微鏡・電子線回折装置の研究・開発
Development of femto-second time-resolved MeV electron microscopy and electron diffraction

メンバー
Member

原著論文
Publication

受賞歴
Awards

RFガン電子ライナック
RF-Gun Electron Linac

極短パルス電子ビーム
Ultra-Short Electron Beam

時間分解電子顕微鏡
Ultrafast Electron Microscope

パルスラジオリシス
Pulse Radiolysis

集団イオン化
Collective Ionization

学会発表
Presentations

研究紹介動画
Introduction Video

学生のみなさんへ
To Studnets

スナップショット
Snapshot

担当授業
Classes

研究資金

Research Grants

お問い合わせ
Contact

住所 / Address

〒567-0047
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Email: adv-nano-fab@sanken.osaka-u.ac.jp
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