ナノ極限ファブリケーション研究分野

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  教授：吉田　陽一
  Prof. Y. YOSHIDA
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  准教授：楊　金峰
  Assoc. Prof. J. YANG
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  助教：菅　晃一
  Assist. Prof. K. KAN
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  特任研究員（客員准教授）：柴田　裕実
  Spec. App. Res. H. SHIBATA

　本研究分野では、量子ビームによるナノファブリケーションに必要な高性能プロセスの開発を、量子ビーム、特に、フェムト秒パルスラジオリシスの手法を用いて行う。

研究課題

1. 量子ビームによるフェムト秒・ナノ空間の反応解析
2. 高性能ナノファブリケーションプロセスの開発
3. フェムト秒パルスラジオリシス装置の研究開発
4. 量子ビームによるナノファブリケーションの研究
5. 量子ビームプロセスの初期過程と微細加工プロセスの解明
6. 電子線露光によるナノ構造の構築プロセスの解明

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専任研究分野

• ナノ機能材料デバイス研究分野 （田中研究室）
• ナノ極限ファブリケーション研究分野 （吉田研究室）
• ナノ構造・機能評価研究分野 （　　研究室）
• ナノ機能予測研究分野 （小口研究室）
• ソフトナノマテリアル研究分野 （家研究室）
• バイオナノテクノロジー研究分野 （谷口（正）研究室）