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ナノ極限ファブリケーション研究分野

教授:吉田 陽一
Prof. Y. YOSHIDA

准教授:楊 金峰
Assoc. Prof. J. YANG

助教:近藤 孝文
Assist. Prof. T. KONDO

助教:菅 晃一
Assist. Prof. K. KAN


 本研究分野では、量子ビームによるナノファブリケーションに必要な高性能プロセスの開発を、量子ビーム、特に、フェムト秒パルスラジオリシスの手法を用いて行う。

【研究課題 】

1.  量子ビームによるフェムト秒・ナノ空間の反応解析
2.  高性能ナノファブリケーションプロセスの開発
3.  フェムト秒パルスラジオリシス装置の研究開発
4.  量子ビームによるナノファブリケーションの研究
5.  量子ビームプロセスの初期過程と微細加工プロセスの解明
6.  電子線露光によるナノ構造の構築プロセスの解明

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   専任研究分野
ナノ機能材料デバイス研究分野 田中研究室
ナノ極限ファブリケーション研究分野吉田研究室
ナノ構造・機能評価研究分野 (竹田研究室)
ナノ機能予測研究分野 (小口研究室)
ソフトナノマテリアル研究分野安蘇研究室
バイオナノテクノロジー研究分野 (谷口(正)研究室)