産業科学ナノテクノロジーセンター

ナノ極限ファブリケーション研究分野

  • 吉田 陽一
    教授:吉田 陽一
    Prof. Y. YOSHIDA
  • 楊 金峰
    准教授:楊 金峰
    Assoc. Prof. J. YANG

  • 助教:近藤 孝文
    Assist. Prof. T. KONDO

  • 助教:菅 晃一
    Assist. Prof. K. KAN

  • 特任研究員:神戸 正雄
    Spec. App. Res. M. GOHDO

 本研究分野では、量子ビームによるナノファブリケーションに必要な高性能プロセスの開発を、量子ビーム、特に、フェムト秒パルスラジオリシスの手法を用いて行う。

研究課題

  1. 量子ビームによるフェムト秒・ナノ空間の反応解析
  2. 高性能ナノファブリケーションプロセスの開発
  3. フェムト秒パルスラジオリシス装置の研究開発
  4. 量子ビームによるナノファブリケーションの研究
  5. 量子ビームプロセスの初期過程と微細加工プロセスの解明
  6. 電子線露光によるナノ構造の構築プロセスの解明

ナノ極限ファブリケーション研究分野(吉田研究室)のホームページヘ

専任研究分野

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