 産業科学ナノテクノロジーセンターは原子・分子を積み上げ材料を創成するボトムアップナノテクノロジー、材料を極限まで削りナノデバイスを作製するトップダウンナノテクノロジ−、さらにそれらの融合による産業応用を目指し総合的にナノサイエンス・ナノテクノロジーを推進することを目的として、2002年に設立された研究センターである。
トップダウンとボトムアップナノプロセスの融合によるナノシステムの創成、更に、理論および評価との研究融合により、ナノサイエンス･ナノテクノロジー研究の充実と新たな展開を図ることで、各分野に根付き深化したナノテクノロジー研究を学際融合基盤科学技術へと発展させることを目指して2009年に改組を行い、専任6研究分野、所内兼任3分野、客員3分野、学内兼任6分野から構成されている。
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旧名称：