ナノテク先端機器室

ナノテク先端機器室は2009年に発足しました

 

 

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外部登録機関
(産研外ユーザーは 課金対象)
産研所属ユーザー無課金装置 産研内外所属ユーザー課金装置
  磁石搭載型低温プローバー
[ EMPX-HP-SPA型 ]

S02 SIMSカウフマン型イオンミリング装置
[IBE-KDC75-EDP-OU-TA]

  S37 イオン化エネルギー測定装置
[ BIP-KV202GD ]
    S38 レーザー照射励起電流測定装置
[ BIP-KV302K ]
ARIM ・
リノベーションセンター
S32 試料水平型X線回折装置  
[ UltimaⅣ ]
 
ARIM ・
リノベーションセンター
S36 位相変調型エリプソメーター
[ UVISEL LT NIR-NNG ]
 
ARIM S01 ナノインプリント微細加工装置
  [ Eitere3 ]
 
ARIM S31 LED描画装置
[ PLS1010 ]
 
ARIM S34 フーリエ変換赤外分光光度計
[ FT/IR 6100FV ]
 
ARIM S35 粒子径・ゼーター電位・分子量測定装置
[ Zetasizer Nano ZS ]
 
 
 



   

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