Mission

半導体製造における極端紫外光リソグラフィ、粒子線ガン治療などといった、電離放射線領域にある量子ビームの利用が今後大きく展開して行くことが予想されます。
量子ビーム物質科学研究分野では、最先端の量子ビーム（電子線、極端紫外光、レーザー、放射光、X線、ガンマ線、イオンビーム）を利用して、量子ビームが物質に引き起こす化学反応と反応場の研究を行っています。
量子ビームによる物質へのエネルギー付与から、化学反応を経て、機能発現に至るまでの化学反応システムの解明し、得られた知見から、オングストロームノードの次世代高性能半導体製造を可能にする”新規化学反応システムの構築”を行っています。

In the future, the use of quantum beams in the ionizing radiation field, such as extreme ultraviolet lithography in semiconductor manufacturing and particle beam cancer therapy, is expected to expand greatly.
The Quantum Beam Materials Science Division uses state-of-the-art quantum beams (electron beams, extreme ultraviolet beams, lasers, synchrotron radiation, X-rays, gamma rays, and ion beams) to study chemical reactions and reaction fields induced in materials by quantum beams.
We are elucidating the chemical reaction system from the energy imparted to materials by quantum beams to the expression of functions through chemical reactions, and based on the obtained knowledge, we are constructing a "novel chemical reaction system" that will enable the production of next-generation high-performance semiconductors at the angstrom node.