研究紹介

フォトカソード高周波(RF)電子銃によるアト秒・フェムト秒電子線パルスの発生

フェムト秒超高速電子顕微鏡
ナノ極限ファブリケーション研究分野では、レーザー光パルス駆動型高周波電子銃と電子加速器を用いて相対論的フェムト秒・アト秒電子線パルスを発生し、フェムト秒時間分解能を有する光吸収分光測定法(パルスラジオリシス)や超高速電子顕微鏡法の研究開発を行っています。これらのフェムト秒時間分解計測技術を用いて、物質中の電子や原子の動きを探ることで、化学反応と構造変化が起きる瞬間、中間活性種や新しい物質構造の生成過程、機能発現メカニズム等を調べ、次世代半導体材料や微細加工プロセスの開発、新機能性材料・デバイスの創製への貢献を目指しています。