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産業科学ナノテクノロジーセンターは原子・分子を積み上げ材料を創成するボトム アップナノテクノロジー、材料を極限まで削りナノデバイスを作製するトップダウン ナノテクノロジ－、さらにそれらの融合による産業応用を目指し総合的にナノサイエンス・ナノテクノロジーを推進することを目的として、2002年に設立された研究センターである。

ハード、ソフト、生体材料分野においてトップダウンとボトムアップナノプロセスの融合によるナノシステムの創成、更に、理論および評価との研究融合による新たな展開と発展を目的として2009年に改組を行い、専任6研究分野、所内兼任3分野、学内兼任6分野、客員3分野から構成されている。