スタッフ

研究内容

半導体製造における極端紫外光リソグラフィ、粒子線ガン治療等、今後電離放射線領域にある量子ビームの利用が大きく展開していくことが予想されます。量子ビーム物質科学研究分野では最先端の量子ビーム（電子線、極端紫外光、レーザー、放射光、X線、ガンマ線、イオンビーム）を利用して、シングルナノの空間領域や高温高圧状態・超臨界状態といった極限下において、量子ビームが物質に引き起こす化学反応と反応場の研究を行っています。量子ビームによる物質へのエネルギー付与から、化学反応を経て、機能発見に至るまでの化学反応システムを解明し、得られた知見から新規化学反応システムの構築を行い、材料・プロセス開発に役立てています。

研究課題

• 1. 半導体大量生産におけるナノ化学への挑戦
  2. 凝縮相の極端紫外光化学
  3. 極限状態下のビーム誘起反応研究
  4. ナノ粒子・コロイド溶液の放射線化学研究
  5. 量子ビーム誘起による有機・無機ナノ構造形成機構の解明と応用
  6. 電子線過渡分光による有機材料、生体における量子ビーム誘起反応の解明
  7. 遺伝子損傷の初期過程の研究

図・グラフ

紹介ビデオ