（2022年 4月 1日 一部修正）

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所長

関野 徹 教授

副所長

永井 健治 教授（研究推進・産学連携担当）

副所長

駒谷 和範 教授（財務・施設担当）

副所長

細貝 知直 教授（教育連携・広報担当）

副所長（産業科学ナノテクノロジーセンター長）

田中 秀和 教授

所長補佐

西野 邦彦 教授

第１研究部門（情報・量子科学系）

量子システム創成研究分野（大岩研）

界面量子科学研究分野（千葉研）

先進電子デバイス研究分野（関谷研）

複合知能メディア研究分野（八木研）

知能推論研究分野（鷲尾研）

知識科学研究分野（駒谷研）

知能アーキテクチャ研究分野（沼尾研）

第２研究部門（材料・ビーム科学系）

自然材料機能化研究分野（能木研）

半導体材料・プロセス研究分野

先端ハード材料研究分野（関野研）

エネルギー・環境材料研究分野（山田研）

励起物性科学研究分野

量子ビーム物理研究分野（細貝研）

量子ビーム物質科学研究分野（古澤研）

第３研究部門（生体・分子科学系）

励起材料化学研究分野（藤塚研）

機能物質化学研究分野

精密制御化学研究分野（中谷研）

複合分子化学研究分野（鈴木研）

生体分子反応科学研究分野（黒田研）

生体分子制御科学研究分野（西野研）

生体分子機能科学研究分野（永井研）

産業科学ナノテクノロジーセンター

ナノ機能材料デバイス研究分野（田中研）

ナノ極限ファブリケーション研究分野（吉田研）

ナノ構造・機能評価研究分野（末永研）

ナノ機能予測研究分野（南谷研）

ソフトナノマテリアル研究分野（家研）

バイオナノテクノロジー研究分野（谷口（正）研）

環境・エネルギーナノ応用分野

ナノ知能システム分野

ナノ医療応用デバイス分野

ナノシステム設計分野

ナノデバイス評価・診断分野

ナノテクノロジー産業応用分野

ナノ構造・機能シミュレーション分野

ナノエレクトロニクス分野

ナノ機能計測分野

ナノメディシン分野

ナノバイオロジー分野

ナノＩＴ分野

ナノ加工室

ナノテク先端機器室

マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点

産業科学AIセンター

トランスレーショナルデータビリティ研究分野（櫻井研）

量子・情報系ＡＩ導入研究分野

材料・ビーム系ＡＩ導入研究分野

生体・分子系ＡＩ導入研究分野

ナノテク系ＡＩ導入研究分野

新産業創成研究部門

新産業創造システム研究分野

知的財産研究分野

特別プロジェクト研究部門

3次元ナノ構造科学研究分野

先進材料実装研究分野

共同研究部門・協働研究所

ユシロ化学工業ポリマーゲル共同研究部門

フレキシブル３Ｄ実装協働研究所

寄附研究部門

シリコン製剤創製・物性学寄附研究部門

総合解析センター

量子ビーム科学研究施設

産業科学連携教育推進センター

拠点ネットワーク支援室

国際共同研究センター

共通施設

試作工場

放射性同位元素実験室

無響実験室

情報ネットワーク室

広報室

施設管理室

戦略室

技術室

工作班

機械加工係

装置開発係

計測班

機器分析係

情報・広報係